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1. はじめに
半導体や液晶パネルの製造時には、製品の良否を判定するために何種類もの検査を行います。
その中のひとつに、外観検査があります。外観検査とは、文字通り検体を外部から観察し、良否を判断する検査です。
検査では、検体をカメラで撮影し、フレームグラバと呼ばれるキャプチャカードでデータを PC 等に取り込み、取り込んだデータを画像処理します。この処理結果を見て、良否を判断します。

図 1 フレームグラバ

液晶パネルの製造ラインに注目すると、近年ではTVの大型化が進み、わずかな欠陥も歩留まり低下の一因となっています。このため、検査装置には高精細画像の取得が求められています。また、製造コストを下げるために、製造時のパネルサイズが大型化しております。この2点とも、画像データの増加方向に働くため、大容量が扱えるフレームグラバが求められてきました。弊社では、この要求に応えるため、大容量データが扱えるフレームグラバを開発いたしました。
ここでは、今回開発したフレームグラバの概要を紹介します。また、エリアセンサカメラを用いた画像入力デモ環境も作成しましたので併せて紹介いたします。
2. 概要
弊社が開発したフレームグラバ(図 2 )には、以下の特徴があります。
DIMM 3 Slot を要し、大容量データ処理が可能
PCI Express インタフェース ( x4 Lane ) を搭載し、データの高速転送が可能
機能を FPGA に集約することにより、部品点数削減を実現
将来の機能拡張のため、 Gigabit Ethernet (GbE) ポートを搭載
将来の機能拡張のため、高速 SERDES インタフェースを搭載
本ボードを紹介するために、上記の特徴からいくつかピックアップし、大容量メモリを利用した蓄積画像の複数同時再生デモを作成しました。
次のページよりボードの説明をいたします。
図 2 フレームグラバ外観
 INDEX
カメラリンク対応PCI Express画像入力ボードの開発
  1.概要(はじめに)
    2.フレームグラバ ボードの構成(ハードウェア、ソフトウェア)
  3.デモンストレーション
   〜後書き、参考URL

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